ソフトプラズマエッチング装置 検索結果に戻る

基本情報
設備番号 10061
設備名称 ソフトプラズマエッチング装置
親設備番号
製造元 メイワフォーシス
設備大分類 表面加工装置
設備小分類 エッチング・親水化処理装置
型式 SEDE-GE
製造年 2013
設置場所名称 共用機器センター2階
自由記述 グロー放電 18 W、試料ステージ径:φ80 mm、均一処理ができる試料径:φ44 mm
管理・運用情報
管理部局名 共用機器センター
管理体制
担当者名 桝飛雄真
担当者外線電話番号 043-290-3810
担当者内線電話番号 3810
担当者メールアドレス masu[@]faculty.chiba-u.jp
稼働状況 稼働中
管理・運用に関する特記事項 稼働時間は月平均10時間程度
利用情報
利用者測定の範囲 学内外
依頼測定の範囲 なし
利用に関する特記事項
設備NWへの登録 登録済
基本情報
設備番号 10061
設備名称 ソフトプラズマエッチング装置
親設備番号
画像1
画像2 -
画像3 -
画像4 -
画像5 -
製造元 メイワフォーシス
設備大分類 表面加工装置
設備小分類 エッチング・親水化処理装置
型式 SEDE-GE
製造年 2013
設置場所名称 共用機器センター2階
自由記述 グロー放電 18 W、試料ステージ径:φ80 mm、均一処理ができる試料径:φ44 mm
管理・運用情報
管理部局名 共用機器センター
管理体制
担当者名 桝飛雄真
担当者外線電話番号 043-290-3810
担当者内線電話番号 3810
担当者メールアドレス masu[@]faculty.chiba-u.jp
稼働状況 稼働中
管理・運用に関する特記事項 稼働時間は月平均10時間程度
利用情報
利用者測定の範囲 学内外
依頼測定の範囲 なし
利用に関する特記事項
設備NWへの登録 登録済