設備番号 | 10066 |
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設備名称 | 精密イオンポリシング装置 |
親設備番号 | |
製造元 | Gatan |
設備大分類 | 表面加工装置 |
設備小分類 | イオンポリシング装置 |
型式 | Model 691 |
製造年 | 2010 |
設置場所名称 | 共用機器センター2階 |
自由記述 | アルゴンイオンビームを試料表面に照射し、エッチングによる各種試料の薄膜化 イオン源:ペニング形イオン銃 2 組、ポリシング速度:84 µm/h 以上(条件:Cu, 10º , 5 keV) |
管理部局名 | 共用機器センター |
---|---|
管理体制 | |
担当者名 | 糸井貴臣 |
担当者外線電話番号 | 043-290-3199 |
担当者内線電話番号 | 3199 |
担当者メールアドレス | itoi[@]faculty.chiba-u.jp |
稼働状況 | 稼働中 |
管理・運用に関する特記事項 | 不定期 |
利用者測定の範囲 | 学内まで |
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依頼測定の範囲 | なし |
利用に関する特記事項 | 大学連携研究設備ネットワーク登録、学内のみ公開中。 |
設備NWへの登録 | 登録済 |
設備番号 | 10066 |
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設備名称 | 精密イオンポリシング装置 |
親設備番号 | |
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製造元 | Gatan |
設備大分類 | 表面加工装置 |
設備小分類 | イオンポリシング装置 |
型式 | Model 691 |
製造年 | 2010 |
設置場所名称 | 共用機器センター2階 |
自由記述 | アルゴンイオンビームを試料表面に照射し、エッチングによる各種試料の薄膜化 イオン源:ペニング形イオン銃 2 組、ポリシング速度:84 µm/h 以上(条件:Cu, 10º , 5 keV) |
管理部局名 | 共用機器センター |
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管理体制 | |
担当者名 | 糸井貴臣 |
担当者外線電話番号 | 043-290-3199 |
担当者内線電話番号 | 3199 |
担当者メールアドレス | itoi[@]faculty.chiba-u.jp |
稼働状況 | 稼働中 |
管理・運用に関する特記事項 | 不定期 |
利用者測定の範囲 | 学内まで |
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依頼測定の範囲 | なし |
利用に関する特記事項 | 大学連携研究設備ネットワーク登録、学内のみ公開中。 |
設備NWへの登録 | 登録済 |